יחידת משאבת ואקום בורג שורשים לייצור מוליכים למחצה

יחידת משאבת הוואקום הבורגית Roots משלבת את היתרונות של משאבות Roots ומשאבות בורג, ומציעה פתרון ואקום נקי, יעיל וללא שמן ליישומים תעשייתיים ומעבדתיים תובעניים. עם עיצוב אטם מרווח וללא שמן סיכה, משאבות אלה שומרות על טוהר גבוה וביצועים יוצאי דופן לאורך כל הפעולה.

עקרון הפעולה של יחידת משאבת ואקום בורג Roots

• משאבת ואקום בורגית (שלב מקדים):פועלת כמשאבת שלב מקדים, ומספקת קצב שאיבה גבוה ולחץ פליטה נמוך. דחיסה מכנית באמצעות מרווחים מדויקים בין הברגים מבטיחה פעולה יעילה, שקטה ונטולת רעידות.
• משאבת ואקום Roots (ראשית/ביניים):רוטורים כפולים מסתובבים באופן סינכרוני מעבירים את גז הפליטה מתא היניקה לתא הפליטה. איטום המרווחים מונע זיהום שמן ושומר על סביבה נקייה בוואקום.
• פעולה סדרתית:שתי המשאבות פועלות בסדרה, כאשר משאבת הבורג משפרת את רמת הוואקום ומשאבת רוטס מבטיחה יעילות שאיבה יציבה ורציפה.

יתרונות ביצועים

1. חיסכון באנרגיה:היחס המותאם בין מהירות השאיבה לדרגת הוואקום מפחית את צריכת החשמל, ומציג ביצועים טובים יותר ממערכות ואקום מסורתיות מבחינת יעילות אנרגטית.
2. יעילות גבוהה:משיגה יעילות שאיבה של מעל 90%, ומספקת רמות ואקום גבוהות עם צריכת אנרגיה נמוכה עבור תהליכים שונים.
3. הגנה ובטיחות:מערכת בקרה מתקדמת עם הפעלה/כיבוי אוטומטיים, הגנה מפני עומס יתר, זרם יתר וניתוק מים מבטיחה יציבות לטווח ארוך.
4. עיצוב קומפקטי:מבנה ערימה אנכי או סולם ממזער את שטח התפוסה, אידיאלי למפעלים ולמעבדות עם שטח מוגבל.
5. תצורה גמישה:יחס מהירות שאיבה מתכוונן בין המשאבות (1:2 עד 1:8) להתאמה לדרישות עבודה מגוונות.
6. ביצועים נגד קורוזיה:משטחי הצפה מטופלים או מיוצרים מחומרים עמידים בפני קורוזיה, המתאימים להפקת גזים קורוזיביים ולפעולה בסביבות קשות.

תחומי יישום

• תעשייה כימית:מיצוי של ממסים אורגניים נדיפים, גזים, ושימוש בכורים ואקום — בשימוש נרחב בתהליכים כימיים ותרופתיים.
• ייצור מוליכים למחצה:תומך בתהליכי התצהיר, ניקוי וחריטה בוואקום.
• תעשיית המזון:חיוני לתהליכי אריזת מזון, התייבשות וייבוש בוואקום.
• תעשיית המתכות:מחלץ גז בתנורים ובמעבדות מתכות כדי לייצב תהליכי התכה.
• מעבדות ומחקר מדעי:אידיאלי לניסויים בוואקום ולהשבת גז בסביבות מדעיות.
• תעשיית האלקטרוניקה:משמש בייצור מעגלים משולבים, ציפוי ואקום למסכים ותהליכי ייצור אלקטרוניים אחרים.